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LED產(chǎn)業(yè)鏈MOCVD障礙并非不可逾越
編輯:天涯 [ 2010-5-14 9:44:22 ] 文章來源:LED大屏網(wǎng)
  LED產(chǎn)業(yè)從材料設備、外延片生長芯片制造到封裝及應用的整個產(chǎn)業(yè)鏈中,設備再一次成為制約行業(yè)發(fā)展的薄弱環(huán)節(jié)。業(yè)內(nèi)專家表示,中國LED產(chǎn)業(yè)要想健康快速發(fā)展,一定要在關鍵設備、原材料上下工夫。 上游關鍵設備還需要依靠進口

  ·LED生產(chǎn)設備種類繁多
  ·關鍵設備幾乎完全依賴進口

  據(jù)介紹,在LED生產(chǎn)過程中需要很多設備,從藍寶石襯底加工用的單晶爐、多線切割、研磨拋光等設備,到MOCVD(金屬有機化合物化學氣相淀積)、退火爐等設備,再到與芯片工藝相類似的設備,如光刻機、刻蝕機、清洗機、蒸發(fā)鍍膜等,最后到封裝用的固晶機、金絲/鋁絲球焊機、分選機等等,種類繁多。其中,MOCVD、等離子刻蝕機等技術含量很高的設備,國內(nèi)生產(chǎn)線全部依靠進口。只有少數(shù)幾種設備實現(xiàn)了國產(chǎn)化,如中電科技集團第45所研制的單線切割機、多功能粘片機、全自動焊線機、分光機、砂輪劃片機、激光劃切機等,都已經(jīng)在用戶生產(chǎn)線上使用。

  中電科技集團第48所研發(fā)中心副部長胡曉宇在接受采訪時表示,受國內(nèi)設備制造業(yè)整體水平低的限制,再加上進口設備的擠壓以及國外設備專利技術的封鎖,國產(chǎn)LED設備(其中包括一部分IC芯片制造設備)整體水平落后,基本上處于實驗室水平,在設備產(chǎn)能、工藝水平、一致性、均勻性和可靠性方面與國際先進水平相比還存在極大的差距。他表示,近年來國內(nèi)相關研究單位對LED生產(chǎn)設備進行了一些嘗試,在技術上取得了一些突破,如單晶爐、研磨拋光機等,但大都沒有在生產(chǎn)線上使用。因此,國產(chǎn)LED設備要進入大生產(chǎn)線還有很長的路要走。

  “LED產(chǎn)業(yè)鏈中最關鍵的上游設備,國內(nèi)完全是空白,還需要進口,如MOCVD外延設備主要來自美國、德國和英國。在中游,生產(chǎn)芯片的設備現(xiàn)在有些企業(yè)已經(jīng)可以做了,如刻蝕機,使用的效果還可以,但同國外設備相比還有不小的差距!本芄怆姡ń鳎┯邢薰靖笨偛猛趺粽f。

  業(yè)內(nèi)人士表示,LED設備在研制過程中大都遇到了成本問題,設備的零部件大都選用進口產(chǎn)品,而設備的售價卻遠低于國外設備,這使得設備的利潤率很低!澳壳按笮偷腖ED企業(yè)都享有國家設備進口免稅政策,這對我們自己研發(fā)設備是非常不利的!敝须娍萍技瘓F第45所市場部副主任王海明說。

  設備開發(fā)和工藝應緊密結(jié)合

  ·完全克隆光伏設備做法行不通
  ·圍繞工藝開發(fā)才能適應需求

  國產(chǎn)設備已經(jīng)在太陽能光伏產(chǎn)業(yè)鏈上發(fā)揮了很大的作用,國產(chǎn)LED設備是否也能彌補LED產(chǎn)業(yè)鏈中缺失的一環(huán)?胡曉宇表示,LED產(chǎn)業(yè)與太陽能產(chǎn)業(yè)有許多相同點,但也有很大的區(qū)別,國產(chǎn)LED設備如果完全克隆光伏設備的做法肯定是行不通的。在所有的光伏設備中,并沒有哪一種設備像MOCVD一樣,在整個LED生產(chǎn)設備投資中占如此大的比重。國產(chǎn)LED設備廠商必須從MOCVD設備開始取得突破,才能逐步向前道和后道工藝設備不斷擴展,最終實現(xiàn)整個產(chǎn)業(yè)鏈的全部設備國產(chǎn)化。

  MOCVD設備的技術門檻很高,需要克服很多困難,投入大量的人力、物力、財力,整合各種優(yōu)勢資源,但這并非是不可逾越的。

  中國專用設備行業(yè)協(xié)會秘書長金存忠說,LED不像光伏設備,它對技術和工藝的要求更高。目前國內(nèi)許多設備制造商力量薄弱,研發(fā)水平較低、關鍵零部件的生產(chǎn)工藝控制較差等問題造成國產(chǎn)設備的穩(wěn)定性和可靠性還達不到要求,導致國內(nèi)生產(chǎn)企業(yè)即使花大價錢也要買國外的設備。因此,國產(chǎn)設備要想在LED產(chǎn)業(yè)大發(fā)展過程中有所作為,一定要在穩(wěn)定性和一致性上做好文章。

  王海明表示,在LED生產(chǎn)中,前道工藝需要突破MOCVD,該設備是芯片制造的關鍵設備,該設備長期依賴進口,單臺價格在3000萬元左右,長期以來制約著我國LED芯片制造的發(fā)展;后道封裝設備中高速全自動金線鍵合機的需求量較大,國內(nèi)還無法批量提供設備。

  王敏表示,MOCVD不是不可逾越,國內(nèi)是能夠做出來的,但是要做到高水平比較困難,現(xiàn)階段還沒有這個能力。他強調(diào),MOCVD生產(chǎn)設備可以引進國外的技術,如果完全依靠自己研發(fā)會比較慢。

  LED發(fā)展到今天,制約其大面積推廣的因素還是上游的裝備業(yè)的發(fā)展水平,有數(shù)據(jù)顯示,現(xiàn)在LED裝備業(yè)的折舊占了成本的1/3.因此,如果大部分LED設備能夠?qū)崿F(xiàn)國產(chǎn)化,才有可能使LED生產(chǎn)成本大幅下降,讓LED走入千家萬戶。

  王敏表示,國產(chǎn)設備之所以沒上大生產(chǎn)線,跟國內(nèi)裝備業(yè)總體水平比較低有關系。我國裝備業(yè)基礎一直比較薄弱,即使現(xiàn)在LED應用如火如荼,上游的材料和裝備仍沒受到應有的重視,目前仍沒有很有實力的大企業(yè)對其進行攻關。此外,國家也應該集中財力對裝備業(yè)進行支持,設立專項。同時,國家要有具體的獎勵措施,鼓勵使用國產(chǎn)設備!斑有一點必須強調(diào),設備實際上是工藝的固化,設備企業(yè)應該和生產(chǎn)企業(yè)聯(lián)合開發(fā),這樣做能比較快地解決其與工藝脫節(jié)的問題!蓖趺粽f。

  事實上,專業(yè)人士早就指出,設備是工藝物化的產(chǎn)物,只有緊緊圍繞生產(chǎn)工藝開發(fā)成本低廉、穩(wěn)定性高的設備才能適應生產(chǎn)線的需求,才能在實踐中得到提升和改進,最終結(jié)合自己的工藝技術開發(fā)更先進的設備。胡曉宇表示,工藝是以設備為根本和載體,而設備是以工藝為目標,脫離工藝的設備就如同人沒有了靈魂!拔宜奶柲茈姵厣a(chǎn)設備就是通過與工藝的緊密結(jié)合才發(fā)展到今天的大好局面!彼f。

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