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11月底,中微半導(dǎo)體和美國MOCVD設(shè)備廠Veeco的專利糾紛逐漸發(fā)酵;12月初,海信夏普爭端再起,夏普被指LED液晶電視專利侵權(quán)……這些專利糾紛似乎都有一個相同點。由于受技術(shù)壁壘、競爭加劇等多因素的影響,很多企業(yè)或主動或被動打起了專利戰(zhàn)。
國內(nèi)外MOCVD廠商對決,由來已久
國內(nèi)外MOCVD廠商的對決多年來一直沒有停息過。MOCVD設(shè)備一直都是生產(chǎn)LED外延芯片的關(guān)鍵設(shè)備。由于技術(shù)含量高,MOCVD設(shè)備站在了LED行業(yè)價值鏈的頂端,MOCVD設(shè)備是專利技術(shù)密集型產(chǎn)業(yè),而其核心技術(shù)大多掌握在美國Veeco和德國Aixtron等國外企業(yè)手中,并且多年以來這兩家企業(yè)占領(lǐng)了全球90%以上的MOCVD設(shè)備市場,其技術(shù)水平、規(guī)模效應(yīng)、品牌效應(yīng)、客戶資源等都達(dá)到了相當(dāng)?shù)母叨取?/FONT>
Veeco和Aixtron在知識產(chǎn)權(quán)及其全球?qū)@M合方面的保護(hù)一直十分堅決,這讓后續(xù)進(jìn)入這一領(lǐng)域的國產(chǎn)MOCVD廠商寸步難行,要突破專利技術(shù)封鎖,建立自主創(chuàng)新的國產(chǎn)MOCVD核心技術(shù)并非易事。據(jù)了解,2016年國產(chǎn)MOCVD設(shè)備在國內(nèi)市占率合計僅11%。
他們利用專利優(yōu)勢來絞殺國產(chǎn)MOCVD設(shè)備商的發(fā)展,從而導(dǎo)致了十幾年來國內(nèi)20多家陸續(xù)從事MOCVD的企業(yè)目前只剩下中微和中晟兩家。
雖然一直面對Veeco和Aixtron的共同絞殺,但中微和中晟兩家依然堅挺不屈。特別是近年來國產(chǎn)化的大力推進(jìn),國產(chǎn)MOCVD設(shè)備開始贏得了國內(nèi)LED芯片廠商的認(rèn)可,尤其是中微半導(dǎo)體,其MOCVD出貨量已突破100臺,華燦光電和三安光電是其最大客戶。目前,華燦光電對其采購量達(dá)到40臺,已獲交付34臺。
國際設(shè)備廠商在中國市場的份額逐漸被國產(chǎn)設(shè)備擠壓,并且在技術(shù)上也逐漸被國內(nèi)設(shè)備廠商趕上。此前三安光電向Aixtron采購50臺腔LED主要生產(chǎn)設(shè)備CCS MOCVD SYSTEM AIX R6,最后由于不能完全滿足三安工藝需求而終止采購。如今Aixtron已經(jīng)基本失去了競爭優(yōu)勢,甚至在2016年,中國資本一度對Aixtron發(fā)起過收購,Aixtron的產(chǎn)品基本上已經(jīng)出局,形成了國產(chǎn)設(shè)備只與Veeco產(chǎn)品競爭的有利格局。
如今中微和中晟兩家企業(yè)在專利技術(shù)上每年都不斷投入,比如中微。中微有一半以上的員工從事研發(fā)工作,而通過十年的發(fā)展和積累,中微已經(jīng)申請了幾百余項國內(nèi)外專利,涉及MOCVD的專利已超過百項,其中大部分專利已被授權(quán)。
專利技術(shù)上的突破使得國內(nèi)MOCVD供應(yīng)商不斷縮小與Veeco產(chǎn)品的技術(shù)差距,并依靠更好的性價比和更便利的售后服務(wù)逐漸得到客戶的認(rèn)可,已經(jīng)威脅到Veeco在中國市場的領(lǐng)先地位,導(dǎo)致其連續(xù)多年虧損和市場占有率的減少。面對國內(nèi)廠商的強勢崛起,Veeco以專利武器打擊中微MOCVD供應(yīng)商的出貨與使用。
中微半導(dǎo)體 、Veeco互告
早在2017年4月12日,Veeco在紐約東區(qū)的聯(lián)邦法院對SGL Carbon,LLC和SGL Carbon SE展開了專利侵權(quán)訴訟。SGL生產(chǎn)用于無基座MOCVD系統(tǒng)的晶圓承載器。除了臨時禁令之外,Veeco正在尋求永久性禁令以及經(jīng)濟賠償?shù)取?/FONT>
11月2日,有機金屬化學(xué)汽相沉積系統(tǒng)(MOCVD)設(shè)備大廠美國維易科(Veeco)宣布,美國紐約東區(qū)地方法院同意了Veeco公司針對SGL Carbon,LLC(SGL)的一項初步禁令請求,該公司是中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司(AMEC)的晶圓承載器供應(yīng)商。據(jù)統(tǒng)計,目前國內(nèi)前三大LED芯片廠商今年采購的機臺里,Veeco和中微半導(dǎo)體各占一半。業(yè)內(nèi)人士評論稱,此次禁令可能會讓中微損失不少。
該禁令禁止SGL出售供采用了Veeco專利技術(shù)的無基座金屬有機化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(MOCVD)使用的晶圓承載器,包括專為AMEC MOCVD系統(tǒng)設(shè)計的晶圓承載器。
Veeco公司董事長兼首席執(zhí)行官John R. Peeler說:“這項裁決肯定了Veeco知識產(chǎn)權(quán)及其全球?qū)@M合的實力。Veeco狠抓知識產(chǎn)權(quán)工作,并堅決維護(hù)其在研發(fā)方面的重大投資,包括其在美國,歐洲和亞洲的專利,特別是在中國!
上述裁決立即生效,禁止SGL在未得到Veeco明確授權(quán)的情況下出貨采用了Veeco專利技術(shù)的晶圓承載器。這也意味著禁止SGL提供用于所有AMEC MOCVD系統(tǒng)的晶圓承載器。
法院還裁定,盡管SGL有相反的論點,Veeco公司有關(guān)“無基座MOCVD反應(yīng)堆使用的Veeco晶圓載體專利受到SGL的侵犯且該專利有效”的聲稱得到認(rèn)同的可能性很大。SGL曾經(jīng)辯稱,其晶圓承載器是基于AMEC的規(guī)格。這項裁決顯示,AMEC不尊重Veeco的知識產(chǎn)權(quán)。
對于在美國Veeco禁令,中微則回應(yīng)表示,首先,紐約東區(qū)地方法院法官在未能有機會全面了解專利無效證據(jù)、未對Veeco美國的專利有效性和基片托盤是否真正侵權(quán)作出明確判斷的情況下,罕見發(fā)出了禁止基片托盤供應(yīng)商給中微提供托盤的臨時禁運令。
其次,中微表示,涉案的Veeco美國專利技術(shù)早在60年代開始就被大量前置專利公開,距今已有五十年歷史,因而,中微認(rèn)為Veeco美國涉案專利不符合專利法要求,應(yīng)屬無效專利。中微更進(jìn)一步對該涉案專利的中國同族專利、韓國同族專利提交了專利宣告無效請求。
此外,中微也會采取多項有效措施,減少SGL遭禁令的影響。中微半導(dǎo)體表示將在三個方面推動解決上述問題:一是積極發(fā)展第二和第三渠道的供應(yīng)商,預(yù)計一個月即可完成產(chǎn)品驗證,兩三個月即可解決批量問題,春節(jié)前即可恢復(fù)對客戶的石墨盤供應(yīng);二是SGL已在美國提起反訴,預(yù)計很快將取得進(jìn)展;三是針對專利方面,公司已在中國對Veeco提起專利侵權(quán)訴訟。
中微半導(dǎo)體披露,其于今年7月向福建高院正式起訴 Veeco上海,指控其TurboDisk EPIK 700型號的MOCVD設(shè)備侵犯了中微的基片托盤同步鎖定的中國專利,要求其停止侵權(quán)并主張上億元侵權(quán)損害賠償。在中微半導(dǎo)體起訴后,Veeco上海對該中微半導(dǎo)體專利向?qū)@麖?fù)審委提起無效宣告請求。
11月24日,國家知識產(chǎn)權(quán)局專利復(fù)審委(簡稱“專利復(fù)審委”)作出審查決定,否決了維易科精密儀器國際貿(mào)易(上海)有限公司(簡稱“Veeco上!保╆P(guān)于中微半導(dǎo)體專利無效的申請,確認(rèn)中微半導(dǎo)體起訴Veeco上海專利侵權(quán)的涉案專利為有效專利。這次訴訟的勝利,被認(rèn)為是中微和Veeco這次對決中階段性的關(guān)鍵勝利,未來中微還需要繼續(xù)跟進(jìn)石墨托盤供應(yīng)商德國SGL的問題。
對于專利復(fù)審委作出的審查決定,中微半導(dǎo)體董事長兼首席執(zhí)行官尹志堯表示,作為一家向國際一流芯片和LED及功率器件生產(chǎn)廠商提供高端制造設(shè)備的供應(yīng)商,中微半導(dǎo)體自2004年成立以來,一直高度重視知識產(chǎn)權(quán),一向獨立自主開發(fā)技術(shù)和確立知識產(chǎn)權(quán)地位,同時也極其尊重客戶和競爭對手的知識產(chǎn)權(quán);十多年來,中微半導(dǎo)體在幾次國內(nèi)外知識產(chǎn)權(quán)訴訟糾紛中,經(jīng)受住了考驗,一直處于不敗之地。
糾紛是常態(tài),和解是必然
有專家分析,VEECO在石墨盤上的專利中微半導(dǎo)體無法繞過,在沒有解決專利問題前中微的客戶要求暫停發(fā)貨。中微對石墨盤需求量較大,目前市場上難以有新供應(yīng)商在短期內(nèi)滿足中微需求。和解是必然結(jié)果,半年內(nèi)和解對三安、華燦影響較小。和解是VEECO和中國LED市場雙贏的結(jié)果。市場淡季的到來和二三線廠商擴產(chǎn)意愿的降低確保在未來6個月三安、華燦基本不受擴產(chǎn)受阻影響。
而澳洋順昌證券事務(wù)所代表則指出,即使在最壞的情況下,即中微與Veeco短期內(nèi)無法達(dá)成和解,美國法院禁止SGL出售晶圓承載器給中微半導(dǎo)體及其客戶,中國法院又裁定Veeco不能在中國銷售相關(guān)的設(shè)備與部件,這種情況下對國內(nèi)LED行業(yè)會產(chǎn)生巨大的影響。但因為公司目前裝備德國AIXTRON公司外延設(shè)備最多,所以對澳洋順昌光電的生產(chǎn)也不會產(chǎn)生不利影響,相比之下, 反而對澳洋順昌最為有利。
(來源:廣東LED)
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